2011年2月,罕王微機電高科技產業園項目在沈撫新區正式開工建設,項目占地1000畝,為沈撫新區重點扶持的高科技產業園區。
2011年5月,罕王微電子(遼寧)有限公司成立。2019年2月,罕王微電子MEMS傳感器芯片后端工藝生產線正式啟動,成為國內首條純MEMS規?;a線,填補了國內產業空白。罕王微電子擁有以中國總部為中心,美國、意大利、奧地利為分部的全球化MEMS研發架構,以“IDM+定制化代工”為運營模式,提供全品類MEMS芯片的可量產化設計服務和定制化代工服務。該生產線可實現8英寸晶圓年產能18萬片,MEMS芯片年產能15億顆,達產后年預期年產值50億元
罕王微機電高科技產業園區在罕王微電子MEMS項目一期達產的基礎上,按照中短期規劃建設MEMS二期項目,投產后新增18萬片晶圓年產能;按照中長期規劃新增一條年產能36萬片的8英寸CMOS晶圓生產線。按照長期規劃將實現除生產MEMS傳感器外,開拓模擬和數字混合集成電路IC市場,實現12英寸晶圓年產能120萬片。
罕王微機電高科技產業園首條8英寸MEMS生產線的建成,實現了罕王集團“引進來高科技”的戰略發展布局,并實現由“傳統產業”向“科技產業”邁進。產業園區將立足東北輻射全國,目標是建設成為全球知名、產值百億的微機電高科技產業園區,并由此形成千億元的綜合產業規模。